Tesis profesional presentada por Francisco José Vazquez Rubio

Licenciatura en Ingeniería Mecánica. Departamento de Ingeniería Industrial y Mecánica. Escuela de Ingeniería y Ciencias, Universidad de las Américas Puebla.

Jurado Calificador

Presidente: M.C. Carlos Enrique Jorge Acosta Mejía
Vocal y Director: Dr. Tadeusz Majewski Szymiec
Secretario: Dr. Sudhakara Katapadi Vadiraja

Cholula, Puebla, México a 10 de mayo de 2007.

Resumen

Los sistemas MEMS se han venido desarrollando desde principios de 1970 para sensores de presión, temperatura, aceleración, cromatografía de gases; dichos dispositivos también fueron utilizados para abrir o cerrar circuitos en las líneas de transmisión, lo que provocó como su siguiente apertura en el mercado, su uso en aplicaciones de microondas.

Estos sistemas cuyas siglas quieren decir Sistemas Micro Electro Mecánicos y en especial con el cual nosotros trabajaremos, tienen como principio de funcionamiento el accionamiento de un...

Resumen (archivo pdf, 9 kb).

Índice de contenido

Portada (archivo pdf, 186 kb)

Capítulo 1. Introducción (archivo pdf, 169 kb)

  • 1.1 Definición de MEMS
  • 1.2 Ejemplos de Sistemas MEMS

Capítulo 2. Métodos de Fabricación para los MEMS (archivo pdf, 13 kb)

Capítulo 3. Factores de diverso interés en los MEMS (archivo pdf, 55 kb)

  • 3.1 Escalamiento

Capítulo 4. Materiales y Diseño (archivo pdf, 20 kb)

  • 4.1 Índice de Desarrollo

Capítulo 5. Presentación del Modelo RF MEMS (archivo pdf, 44 kb)

  • 5.1 Introducción
  • 5.2 Presentación del Modelo
  • 5.3 Principio de Funcionamiento
  • 5.4 Elementos Vibratorios de Alta Frecuencia

Capítulo 6. Descripción de Fuerzas Involucradas en el sistema (archivo pdf, 163 kb)

  • 6.1 Fuerzas Intermoleculares y de Superficie
  • 6.2 Fuerza de Atracción Electrostática en Posición Inicial
  • 6.3 Fuerza de Van der Waals
  • 6.4 Fuerza de Amortiguamiento
  • 6.5 Fuerza Capilar
  • 6.6 Fuerza de Elasticidad
  • 6.7 Contacto Mecánico
  • 6.8 Modelo de Contacto Adhesivo, Teoría de Hertz

Capítulo 7. Análisis Estático de la viga doblemente empotrada (archivo pdf, 77 kb)

Capítulo 8. Vibración de la Viga (archivo pdf, 104 kb)

  • 8.1 Modelo Continúo de Euler-Bernoulli
  • 8.2 Modelo Dinámico de la Viga en Cantilever
  • 8.3 Modelo Dinámico de la Viga con Introducción de Fza

Capítulo 9. Definición de Condiciones de Viga en Cantilever (archivo pdf, 120 kb)

  • 9.1 Parámetros de Viga doblemente empotrada
  • 9.2 Modelo Discreto
  • 9.3 Oscilaciones Harmónicas Bajo Amortiguamiento Viscoso
  • 9.4 Oscilaciones Forzadas No lineares

Capítulo 10. Modelo Electro-Estático y Mecánico de la Viga (archivo pdf, 71 kb)

  • 10.1 Fzas. electro-estática
  • 10.2 Contribución de la fuerza proveniente de la punta del palpador a la fuerza total
  • 10.3 Contribución de la Fza. proveniente del cono a la fuerza total
  • 10.4 Contribución de la Fuerza de la Viga a la Fuerza Total
  • 10.5 Factor de Calidad, y Mecanismos de Perdida
  • 10.6 Método de aro Libre

Capítulo 11. Señal de Operación (archivo pdf, 27 kb)

  • 11.1 Ecuaciones de Fuerza electro estática con señal de operación

Capítulo 12. Simulación del experimento para predecir comportamiento (archivo pdf, 16 kb)

Capítulo 13. Conclusiones (archivo pdf, 12 kb)

Referencias (archivo pdf, 20 kb)

Apéndice A. Código en Matlab para simulación Viga (archivo pdf, 25 kb)

Apéndice B. Graficas obtenidas por uso de Código (archivo pdf, 22 kb)

Apéndice C. Diagrama de Algoritmos en Power Sim (archivo pdf, 20 kb)

Apéndice D. Relación de Ecuaciones incluidas en Algoritmos (archivo pdf, 8 kb)

Apéndice E. Gráficas Obtenidas por uso de algoritmos (archivo pdf, 19 kb)

Apéndice F. Gráficas Experimentales de Comportamiento (archivo pdf, 22 kb)

Apéndice G. Nomenclatura (archivo pdf, 64 kb)

Vazquez Rubio, F. J. 2007. Estudio de la dinámica de los Switches de Frecuencia Radial RF MEMS. Tesis Licenciatura. Ingeniería Mecánica. Departamento de Ingeniería Industrial y Mecánica, Escuela de Ingeniería y Ciencias, Universidad de las Américas Puebla. Mayo. Derechos Reservados © 2007.